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2024-08-12 09:01:03
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注意事项: 使用前,请确认购买的气体符合自身的使用要求;气体钢瓶请存放在干燥、阴凉的地方,并远离热源和避免阳光直射,请将、yi炔等可燃气体与氧气、氧化亚氮等助燃气体分开存储;使用钢瓶气体时,请使用减压器(减压阀、减压表)氩甲烷混合气,确保减压阀及气体管道清洁无油;
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电子工业用混合气是指在大规模集成电路(LSI)、超大规模集成电路(VLSI)和半导体器件制造中,用于气相外延生长、化学气相淀积、搀杂、蚀刻和离子注入等工艺(工序)的一类特殊电子混合气。主要有外延(生长)混合气、化学气相淀积用混合气、搀杂混合气、蚀刻混合气和其他电子混合气。
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(1)、空气滤清器过脏,滤网堵塞
(2)、节气门未完全开启
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3、油泵活门关闭不严或膜片渗油、滤网过脏造成供油不足;
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